本發(fā)明涉及機械設(shè)備，尤其涉及一種大型裝置的高精度水平調(diào)整機構(gòu)。
背景技術(shù)：
1、隨著精密制造（如半導(dǎo)體光刻、納米壓?。?、光學(xué)檢測（引力波觀測、空間望遠鏡）及生物醫(yī)學(xué)設(shè)備的發(fā)展，對設(shè)備基座的調(diào)平精度要求已達微米級（μm）甚至納米級（nm）。
2、傳統(tǒng)大型光學(xué)系統(tǒng)裝置，采用4點球鉸接，利用普通細牙絲杠方案對裝置的姿態(tài)進行調(diào)整，存在調(diào)整結(jié)構(gòu)爬行嚴重、調(diào)整角度無法量化、4點調(diào)整受力不均等問題，為此我們需要一種高分辨率的高精度調(diào)平機構(gòu)。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中以下缺點，調(diào)整結(jié)構(gòu)爬行嚴重問題，而提出的一種大型裝置的高精度水平調(diào)整機構(gòu)。
2、為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：
3、一種大型裝置的高精度水平調(diào)整機構(gòu)，包括調(diào)節(jié)支撐座和被調(diào)節(jié)裝置底座，所述調(diào)節(jié)支撐座上設(shè)置有原點端、恒力端以及兩個調(diào)節(jié)端且位置圍合成矩形，所述原點端和恒力端對角設(shè)置且兩個調(diào)節(jié)端呈對角設(shè)置，所述原點端、恒力端、調(diào)節(jié)端背離調(diào)節(jié)支撐座的一端均安裝有支撐件；
4、所述恒力端包括固定安裝在調(diào)節(jié)支撐座上的恒力端工字鋼支撐體，所述恒力端工字鋼支撐體上固定連接有內(nèi)部呈中空設(shè)置的恒力端彈簧外殼體，所述恒力端彈簧外殼體內(nèi)滑動連接有彈簧t形頂出軸，所述彈簧t形頂出軸的上端與支撐件連接，所述彈簧t形頂出軸的下端和恒力端彈簧外殼體底側(cè)之間安裝有恒力端高剛性彈簧；
5、所述調(diào)節(jié)端上的支撐件底側(cè)設(shè)置有旋固板，所述調(diào)節(jié)端包括設(shè)置在調(diào)節(jié)支撐座上的滾珠提升機，所述滾珠提升機的輸出端設(shè)置有滾珠絲杠，所述滾珠提升機上固定安裝有調(diào)節(jié)端外殼體，所述調(diào)節(jié)端外殼體上固定安裝有彈簧限位保護塊，所述彈簧限位保護塊內(nèi)設(shè)置有套在滾珠絲杠上的調(diào)節(jié)端高剛性彈簧，所述旋固板套在彈簧限位保護塊的外側(cè)壁上，所述滾珠提升機的外側(cè)壁通過連接塊安裝有測微件。
6、優(yōu)選的，所述支撐件包括上支撐板和下支撐板，所述上支撐板的上端面用于連接被調(diào)節(jié)裝置底座，所述上支撐板的下端面和下支撐板之間通過鋼球連接。
7、優(yōu)選的，所述原點端包括固定安裝在調(diào)節(jié)支撐座上的原點工字鋼支撐體，所述支撐件中的下支撐板位于原點工字鋼支撐體上。
8、優(yōu)選的，所述原點工字鋼支撐體的上端面安裝有墊板，所述支撐件的下支撐板下端面抵在墊板上。
9、優(yōu)選的，所述滾珠提升機的輸出端還安裝有減速機，所述減速機的上設(shè)置有驅(qū)動件。
10、優(yōu)選的，所述測微件包括安裝在連接塊上的測座墊高柱，所述測座墊高柱的上端安裝有測座螺絲頭，位于所述調(diào)節(jié)端上的上支撐板一側(cè)固定連接有測微延長板，所述測微延長板的底端安裝有夾器，所述測微延長板的一側(cè)設(shè)置有高精度測微計，所述高精度測微計的內(nèi)的測頭穿過夾器并被其夾緊，且位于原點端與調(diào)節(jié)端中心連線上。
11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：
12、降低執(zhí)行機構(gòu)的微調(diào)步距，四個支撐點的受力情況可控，提升提裝置穩(wěn)定性，且不會出現(xiàn)虛接觸現(xiàn)象，使得數(shù)據(jù)更加準確。另外采用高精度測微計提高測量精度，并實時反饋姿態(tài)數(shù)據(jù)。有助于設(shè)備的姿態(tài)調(diào)整。
1.一種大型裝置的高精度水平調(diào)整機構(gòu)，包括調(diào)節(jié)支撐座（2）和被調(diào)節(jié)裝置底座（1），其特征在于,所述調(diào)節(jié)支撐座（2）上設(shè)置有原點端、恒力端以及兩個調(diào)節(jié)端且位置圍合成矩形，所述原點端和恒力端對角設(shè)置且兩個調(diào)節(jié)端呈對角設(shè)置，所述原點端、恒力端、調(diào)節(jié)端背離調(diào)節(jié)支撐座（2）的一端均安裝有支撐件；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大型裝置的高精度水平調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，所述支撐件包括上支撐板（31）和下支撐板（33），所述上支撐板（31）的上端面用于連接被調(diào)節(jié)裝置底座（1），所述上支撐板（31）的下端面和下支撐板（33）之間通過鋼球（32）鉸接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種大型裝置的高精度水平調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，所述原點端包括固定安裝在調(diào)節(jié)支撐座（2）上的原點工字鋼支撐體（6），所述支撐件中的下支撐板（33）位于原點工字鋼支撐體（6）上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種大型裝置的高精度水平調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，所述原點工字鋼支撐體（6）的上端面安裝有墊板，所述支撐件的下支撐板（33）下端面抵在墊板上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種大型裝置的高精度水平調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，所述滾珠提升機（52）的輸出端還安裝有減速機（53），所述減速機（53）的上設(shè)置有驅(qū)動件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種大型裝置的高精度水平調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，所述測微件包括安裝在連接塊上的測座墊高柱，所述測座墊高柱的上端安裝有測座螺絲頭，位于所述調(diào)節(jié)端上的上支撐板（31）一側(cè)固定連接有測微延長板（54），所述測微延長板（54）的底端安裝有夾器，所述測微延長板（54）的一側(cè)設(shè)置有高精度測微計（55），所述高精度測微計（55）的內(nèi)的測頭穿過夾器并被其夾緊，且位于原點端與調(diào)節(jié)端中心連線上。