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本發(fā)明涉及硅片位置偏移檢測，具體為一種用于糾正硅片位置偏移的檢測系統(tǒng)及其檢測方法。、硅片曝光是光刻工藝中的核心步驟，通過紫外光源將掩模版上的圖形精準轉印到硅片表面的光刻膠層中，該工藝利用光敏材料在特定光源照射下發(fā)生化學反應，形成與掩模版一致的圖形，后續(xù)通過顯影、刻蝕等步驟將圖形轉移到硅片或...

本發(fā)明涉及光刻機，具體涉及一種具體涉及一種成形光闌組件、電子束分束模塊及多電子束光刻機。、電子束光刻機借助高能電子束轟擊光刻膠實現(xiàn)圖形化寫入，在高分辨率、高精度掩模制備中具有不可替代的地位。然而，隨著芯片特征尺寸持續(xù)縮小，單電子束光刻機制備掩模的效率日益低下，嚴重限制了其在工業(yè)領域的規(guī)?；?..

本發(fā)明涉及光通信，尤其涉及光模塊解鎖機構及使用該解鎖機構的sfp光模塊。、光模塊作為光纖通信系統(tǒng)中的核心可插拔組件，其殼體通過機械鎖扣機構與設備端的金屬籠實現(xiàn)物理固定；該解鎖機構主要由殼體兩側的彈性卡塊和金屬籠內(nèi)對應的卡槽構成：當模塊插入到位時，卡塊在彈力作用下嵌入卡槽形成剛性互鎖；拔出時...

本發(fā)明屬于光通信領域，具體涉及一種光引擎、光模塊。、隨著數(shù)據(jù)中心互聯(lián)應用的快速增長，dr、xdr、dr等面向中短傳輸距離的多通道并行光模塊的需求日益增長。光引擎是光模塊的核心，目前常規(guī)的光引擎存在以下問題：）光發(fā)射組件采用eml（electro-absorption?modulated?l...

本公開實施例涉及光學，尤其涉及顯示設備及其控制方法。、隨著可穿戴顯示技術與人機交互系統(tǒng)的持續(xù)演進，具備實時圖像呈現(xiàn)和空間感知能力的頭戴式顯示設備已廣泛應用于目標識別、環(huán)境感知、虛擬交互、輔助導航等多種技術場景。此類顯示設備可以集成有成像模組、顯示模組以及光學調(diào)控系統(tǒng)，旨在構建沉浸式或增強式...

本發(fā)明涉及橢偏儀的，特別是一種可調(diào)角度入射的便攜式橢偏儀光路調(diào)節(jié)裝置的。、、橢偏儀是測量透明、半透明薄膜厚度的主流方法，它采用偏振光源發(fā)射激光，當光在樣本中發(fā)生反射時，會產(chǎn)生橢圓的偏振，橢偏儀通過測量反射得到的橢圓偏振，并結合已知的輸入值精確計算出薄膜的厚度，是一種非破壞性...

本申請涉及光電子，更具體地，涉及一種片上聲光調(diào)控器件及其制備方法。、隨著云計算、物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、g通信、人工智能等技術的快速發(fā)展，數(shù)據(jù)中心網(wǎng)絡規(guī)模持續(xù)擴大，對數(shù)據(jù)傳輸容量的需求急劇增長。然而，傳統(tǒng)的電互聯(lián)在應對高密度、高速、大容量的場景時面臨一定挑戰(zhàn)。因此，亟需發(fā)展未來信息技術，以滿足信息...

本發(fā)明屬于量子信息科學，具體地說是涉及一種四光子糾纏量子光源及其實現(xiàn)方法。、量子糾纏是量子信息處理乃至實現(xiàn)量子互聯(lián)網(wǎng)的核心資源之一，非線性晶體內(nèi)的參量下轉換過程是目前產(chǎn)生糾纏光子對最成熟的方式。在上述參量過程中，關聯(lián)光子對概率性產(chǎn)生，借助對路徑、偏振等自由度的調(diào)制編碼，可實現(xiàn)光子糾纏態(tài)的制...

本發(fā)明涉及離軸三反光學系統(tǒng)，特別是涉及一種基于矢量像差理論的偏軸三反系統(tǒng)設計方法和系統(tǒng)。、三鏡消像散望遠鏡因其無色差特性、大口徑長焦距設計、優(yōu)異的系統(tǒng)穩(wěn)定性以及寬工作波段等優(yōu)勢，在空間光學領域具有重要應用價值。通過采用三反射鏡緊湊型構型，tma系統(tǒng)(三反光學系統(tǒng)three-mirror?a...

本發(fā)明涉及相機鏡頭領域，尤其涉及一種緊湊型相機鏡頭。、高規(guī)格相機鏡頭在追求極致光學指標和性能時，往往需要采用復雜的鏡組結構，導致鏡身體積龐大、重量顯著增加。其龐大的鏡身不僅增加了攝影師的負重，在長時間手持拍攝時更易導致疲勞，使用三腳架支撐也限制了拍攝場景的靈活性。同時，過大的體積增加了攜帶...

本發(fā)明涉及光纜，更具體地說，它涉及一種礦用光纜及其安裝方法。、礦用光纜是一種在煤礦、金礦、鐵礦等礦山場合下使用的光纜。鑒于礦山的復雜環(huán)境，礦用光纜的要求較高，需要滿足防鼠、抗壓、防火等性能要求。、目前的礦用光纜采用金屬加強件作為中心支撐、金屬網(wǎng)層作為保護層，雖然滿足了防鼠、防火等要求，但是...

本發(fā)明屬于光通信領域，具體涉及一種光模塊。、隨著數(shù)據(jù)中心互聯(lián)應用的快速增長，光模塊的傳輸通道和傳輸速率與日俱增，功耗隨之越來越大，因此對光模塊的散熱要求更高。光模塊包括殼體和安裝在殼體內(nèi)的pcb板，殼體一般包括組裝在一起的底座、上蓋和拉環(huán)，pcb板的上下表面都分布有光芯片、電芯片。在目前的...

本發(fā)明涉及顯示材料及器件，尤其涉及一種量子點直接光刻的加工方法及其應用。、量子點，又稱半導體納米晶，是一種粒徑小于或接近其激子玻爾半徑的準零維納米材料。由于其在三個空間維度上均具有顯著的量子限域效應，因此展現(xiàn)了諸多獨特的光學、電學等物理化學性質，例如發(fā)光效率高、發(fā)光波長動態(tài)可調(diào)、發(fā)光半峰寬...

本發(fā)明屬于微納光學器件，涉及一種基于濕法腐蝕工藝的近眼顯示系統(tǒng)及其制備方法，適用于虛擬現(xiàn)實（vr）、增強現(xiàn)實（ar）等近眼顯示系統(tǒng)。、在當前的虛擬現(xiàn)實（vr）和增強現(xiàn)實（ar）技術中，光波導因其重量輕、結構相對簡單而成為一種常用的圖像傳輸方式。在光波導設備中，耦合元件在調(diào)節(jié)光的方向方面起著...

本發(fā)明涉及汽車電子顯示，尤其是一種用于平視顯示器的分區(qū)調(diào)光背光模組及其光學系統(tǒng)。、在汽車平視顯示器（hud）的背光系統(tǒng)領域，常見的解決方案多采用由反光杯與透鏡陣列組合的結構。此類方案在實施中往往存在多方面的限制：反光杯的制造通常依賴精密模具成型工藝并需施加反射鍍層，這不僅增加了工藝復雜度，...

本發(fā)明涉及光致產(chǎn)酸劑制備，具體為一種光致產(chǎn)酸劑的制備方法。、光致產(chǎn)酸劑是一類在光、射線、等離子體等輻射下能分解生成特定酸的化合物。這些生成的酸能夠催化酸敏樹脂發(fā)生分解或交聯(lián)反應，從而使光照部分與非光照部分的溶解性產(chǎn)生差異，經(jīng)過顯影處理后形成影像。作為光刻膠的核心組成部分，光致產(chǎn)酸劑在光刻技...

本發(fā)明屬于光學鏡頭，具體涉及一種多物距兼容的投影鏡頭及d打印設備。、近年來，紫外光固化d打印技術因具有高精度、快速成型等優(yōu)勢，在精密制造、醫(yī)療器件等領域得到廣泛應用。該技術通過紫外光（如nm-nm波段）逐層固化光敏樹脂實現(xiàn)三維結構成型，作為其核心光學組件的投影鏡頭的性能直接決定打印分辨率與...

本發(fā)明涉及光纖傳感，特別是一種分布式海洋聲磁一體化探測光纜及探測方法。、隨著海洋資源開發(fā)、海洋安全監(jiān)測等領域的快速發(fā)展，對海洋聲磁信息的精確獲取和實時監(jiān)測需求日益增長。例如，在海洋資源勘探中，需要通過聲磁信號分析來判斷海底地質結構和資源分布；在海洋安全監(jiān)測方面，需要及時準確地監(jiān)測海洋中的異...

本發(fā)明涉及高分子薄膜，特別涉及一種感光干膜及制備方法。、感光干膜(photosensitive?dry?film)廣泛應用于電子、印刷電路板(pcb)制造等領域。感光干膜在pcb制造中起到關鍵作用，通過紫外線的照射引發(fā)聚合反應，生成穩(wěn)定的附著物緊密貼合于銅板表面，實現(xiàn)對電鍍、刻蝕及掩孔的有...

本發(fā)明涉及偏振元件。、為了控制從光源射出的光的偏振光，以往使用波長板這樣的器件。在被稱為波分復用方式的用于傳輸大容量的信號的光通信技術的領域中，波長選擇開關（wss（wavelength?selective?switch））的光開關需要并列排列的多個光信號進行操作。在波長選擇開關中，需要對...