本發(fā)明涉及一種龍門式的用于移送相機模塊的平臺。
背景技術：
1、龍門式平臺(gantry-type?stage)可用于半導體制造裝備等，將待移送對象沿著三個軸(x軸、y軸、z軸)方向進行移送。例如，在半導體鍵合過程中，所述龍門式平臺可用于移送相機模塊，并對半導體器件的狀態(tài)或鍵合狀態(tài)進行檢測或確認。所述龍門式平臺在移送時需要確保相機模塊的焦點不晃動，以實現(xiàn)精確拍攝。然而，在移送相機模塊的過程中，所述龍門式平臺可能因慣性或框架的振動，使相機模塊產(chǎn)生振動。即，所述龍門式平臺使相機模塊產(chǎn)生因偏搖(yawing)和俯仰(pitching)而導致的誤差，相機模塊存在由于焦點晃動而導致拍攝影像的精度降低的問題。尤其，所述相機模塊因俯仰誤差而導致拍攝影像的精度降低的問題更為突出。
技術實現(xiàn)思路
1、技術問題
2、本發(fā)明的目的在于，提供一種龍門式平臺，即，可以補償俯仰誤差，以提高直線移送精度。
3、技術方案
4、本發(fā)明的龍門式平臺的特征在于，包括：基座框架，具有在內側上部形成的基座空間；第一移送模塊，包括沿著第一方向移動的第一移送塊，分別與所述基座框架的一側和另一側結合；第二移送模塊，包括沿著與第一方向垂直的第二方向移動的第二移送塊，在所述第一移送模塊之間與第一移送塊結合，以沿著所述第一方向移動；第三移送模塊，包括沿著與第一方向及第二方向垂直的第三方向移動的第三移送塊，分別與所述第二移送塊前表面的一側和另一側結合，以沿著第二方向移動；以及安裝模塊，包括安裝塊及安裝鉸鏈，所述安裝塊在所述第二移送塊的前側位于所述第三移送模塊之間，所述安裝鉸鏈結合在所述安裝塊的兩側與所述第三移送模塊之間。
5、并且，所述第三移送模塊可以包括第三左側移送模塊和第三右側移送模塊，所述安裝塊位于所述第三左側移送模塊與所述第三右側移送模塊之間，所述安裝鉸鏈包括：左側安裝鉸鏈，位于所述安裝塊的左側與所述第三左側移送模塊的所述第三移送塊之間；以及右側安裝鉸鏈，分別位于所述安裝塊的右側與所述第三右側移送模塊的第三移送塊之間。
6、并且，所述安裝鉸鏈可以呈桿狀，具有多個鉸鏈孔，所述鉸鏈孔沿著與長度和寬度方向垂直的方向從一面貫通到另一面。
7、并且，所述鉸鏈孔可以沿著所述安裝鉸鏈的長度方向相互隔開。
8、并且，所述左側安裝鉸鏈與右側安裝鉸鏈的長度可以相同，具有相同數(shù)量的所述鉸鏈孔。
9、并且，所述左側安裝鉸鏈與右側安裝鉸鏈的長度可以相同，具有不同數(shù)量的所述鉸鏈孔。
10、并且，所述安裝鉸鏈可以由鋁材質制成。
11、并且，所述安裝鉸鏈可以結合在所述安裝塊的一側及另一側與所述第三移送塊相向的部分。
12、并且，所述安裝鉸鏈可以與所述安裝塊的高度和第三移送塊的高度中相對較小的高度相對應。
13、發(fā)明的效果
14、本發(fā)明的龍門式平臺可以補償俯仰誤差，以提高直線移送精度。
15、并且，本發(fā)明的龍門式平臺可以補償俯仰誤差，以提高相機模塊的拍攝影像的精度。
1.一種龍門式平臺，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權利要求1所述的龍門式平臺，其特征在于，
3.根據(jù)權利要求2所述的龍門式平臺，其特征在于，所述安裝鉸鏈呈桿狀，具有多個鉸鏈孔，所述鉸鏈孔沿著與長度和寬度方向垂直的方向從一面貫通到另一面。
4.根據(jù)權利要求3所述的龍門式平臺，其特征在于，所述鉸鏈孔沿著所述安裝鉸鏈的長度方向相互隔開。
5.根據(jù)權利要求3所述的龍門式平臺，其特征在于，所述左側安裝鉸鏈與右側安裝鉸鏈的長度相同，具有相同數(shù)量的所述鉸鏈孔。
6.根據(jù)權利要求3所述的龍門式平臺，其特征在于，所述左側安裝鉸鏈與右側安裝鉸鏈的長度相同，具有不同數(shù)量的所述鉸鏈孔。
7.根據(jù)權利要求1所述的龍門式平臺，其特征在于，所述安裝鉸鏈由鋁材質制成。
8.根據(jù)權利要求1所述的龍門式平臺，其特征在于，所述安裝鉸鏈結合在所述安裝塊的一側及另一側與所述第三移送塊相向的部分。
9.根據(jù)權利要求1所述的龍門式平臺，其特征在于，所述安裝鉸鏈與所述安裝塊的高度和第三移送塊的高度中相對較小的高度相對應。