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一種曝光機除塵裝置的制作方法

文檔序號:42887339發(fā)布日期:2025-08-29 19:35閱讀:11來源:國知局

本發(fā)明涉及曝光機除塵,具體為一種曝光機除塵裝置。


背景技術(shù):

1、曝光機是一種通過紫外線將膠片等透明體上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)表面的工業(yè)設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件及納米科技等領(lǐng)域。其核心組件包括uv燈系統(tǒng)、晶圓工作臺、顯微鏡及掩膜夾具,支持接觸式和接近式等多種曝光模式,線路板在推料組件上進入到曝光機之前,需要使用到除塵裝置對表面灰塵和雜質(zhì)進行去除。

2、目前,公告號為cn114515727b的中國發(fā)明,公開了一種曝光機除塵裝置。該除塵裝置雖然借助固定組件將除塵輥固定到曝光機上線路板的必經(jīng)之處,使線路板在進入到曝光機內(nèi)部前對表面灰塵去除,但是在使用過程中還存在其他問題,如缺少較為精細的除塵措施和對應(yīng)的清理方式,首先附著在線路板上的灰塵和雜質(zhì)包括物理附著和靜電附著,物理附著的雜質(zhì)經(jīng)過除塵輥的擦拭會發(fā)生掉落,但是細小的因靜電附著的雜質(zhì)很難去除,且去除后的雜質(zhì)會從線路板上轉(zhuǎn)移到除塵輥上,轉(zhuǎn)移到除塵輥上的雜質(zhì)無法再次轉(zhuǎn)移,繼續(xù)使用時會容易再次污染線路板,除塵效果較差。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種曝光機除塵裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:包括固定架和轉(zhuǎn)動連接在內(nèi)部的第一輥筒以及開設(shè)在頂部的通槽,所述固定架的頂部設(shè)置有過濾盒;

3、所述過濾盒的頂部設(shè)置有頂升機構(gòu),所述固定架的內(nèi)部并位于第一輥筒的上方安裝有磁性傳感器,所述過濾盒的兩側(cè)均焊接有固定座,兩個所述固定座的正面分別轉(zhuǎn)動連接有收卷輥筒和放卷輥筒,所述收卷輥筒的一端固定套接有伺服電機,所述伺服電機的正面通過螺絲與固定座連接,所述過濾盒的頂部安裝有plc控制器,所述過濾盒的底部設(shè)置有自適應(yīng)調(diào)節(jié)機構(gòu)。

4、在進一步的實施例中,所述過濾盒的內(nèi)部通過螺絲連接有吸風(fēng)機,所述過濾盒內(nèi)部的中端安裝有燒結(jié)濾網(wǎng),所述過濾盒的背面開設(shè)有出風(fēng)口,所述固定架的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有與第一輥筒平齊的第二輥筒,所述第二輥筒的表面開設(shè)有吸塵孔,所述過濾盒的正面貫穿連通有連接管道,所述吸塵孔的另一端貫穿并延伸至第二輥筒的內(nèi)部,所述連接管道的表面與第二輥筒之間為轉(zhuǎn)動連接。

5、在進一步的實施例中,所述頂升機構(gòu)包括安裝架,所述安裝架設(shè)置在過濾盒的頂部,所述安裝架的頂部貫穿安裝有氣缸,所述氣缸的活塞端與過濾盒的頂部相連接,所述過濾盒的頂部對稱焊接有導(dǎo)向桿,所述導(dǎo)向桿的另一端貫穿并延伸至安裝架的頂部,所述安裝架的一側(cè)開設(shè)有兩個安裝孔。

6、在進一步的實施例中,所述自適應(yīng)調(diào)節(jié)機構(gòu)包括固定筒,所述固定筒的數(shù)量為四個,四個所述固定筒均安裝在過濾盒的底部,所述固定筒的內(nèi)部滑動設(shè)置有移動塊,所述移動塊的底部和固定架之間安裝有連接柱,所述移動塊的頂部和固定筒之間通過彈簧固定片栓接有固定彈簧,所述移動塊的頂部和固定筒之間安裝有阻尼器。

7、在進一步的實施例中,所述固定架的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有與第一輥筒平齊的第三輥筒。

8、在進一步的實施例中,所述固定架的兩側(cè)均一體折彎成型有傾斜端,所述傾斜端的另一側(cè)通過螺絲連接有刮料板。

9、在進一步的實施例中,所述過濾盒的背面通過螺絲安裝有防塵網(wǎng),所述防塵網(wǎng)的直徑大于出風(fēng)口直徑。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:

11、本發(fā)明通過第二輥筒和第三輥筒分別設(shè)置在固定架內(nèi)第一輥筒的兩側(cè),當安裝架用螺絲固定到曝光機進料口的上方后,線路板輸送到曝光機前會依次經(jīng)過第二輥筒、第一輥筒和第三輥筒,線路板從右進入時會先推動到第二輥筒上移并帶其旋轉(zhuǎn),吸風(fēng)機啟動后會產(chǎn)生吸力并通過吸塵孔將線路板上的灰塵和雜質(zhì)吸入,灰塵和雜質(zhì)吸入后會通過連接管道進入到過濾盒內(nèi),線路板經(jīng)過初步處理后會與推動第一輥筒旋轉(zhuǎn)并與粘膜的粘面接觸,粘膜的粘面會將細小和附著灰塵去除,粘膜移動時會使放卷輥筒上的粘膜卷放開對應(yīng)長度,第一輥筒在旋轉(zhuǎn)時頂部的磁性傳感器會將信息反饋給plc控制器并控制伺服電機啟動,伺服電機在啟動后會帶動收卷輥筒對使用后的粘膜收卷保持粘膜的持續(xù)換新和張緊度,線路板經(jīng)過粘膜后會受到第三輥筒的推動與粘膜分離,能夠為裝置增加精細的除塵措施和對應(yīng)清理,提高了對灰塵和雜質(zhì)的除塵效果,實現(xiàn)除塵面的自動換新和刮落,保障了整體的張緊效果和穩(wěn)定性,適用于多種規(guī)格厚度的線路板進行加工,實用性高。



技術(shù)特征:

1.一種曝光機除塵裝置,包括固定架(1)和轉(zhuǎn)動連接在內(nèi)部的第一輥筒(2)以及開設(shè)在頂部的通槽(20),其特征在于:所述固定架(1)的頂部設(shè)置有過濾盒(3);

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機除塵裝置,其特征在于:所述過濾盒(3)的內(nèi)部通過螺絲連接有吸風(fēng)機(12),所述過濾盒(3)內(nèi)部的中端安裝有燒結(jié)濾網(wǎng)(13),所述過濾盒(3)的背面開設(shè)有出風(fēng)口,所述固定架(1)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有與第一輥筒(2)平齊的第二輥筒(16),所述第二輥筒(16)的表面開設(shè)有吸塵孔(15),所述過濾盒(3)的正面貫穿連通有連接管道(14),所述吸塵孔(15)的另一端貫穿并延伸至第二輥筒(16)的內(nèi)部,所述連接管道(14)的表面與第二輥筒(16)之間為轉(zhuǎn)動連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機除塵裝置,其特征在于:所述頂升機構(gòu)(4)包括安裝架(41),所述安裝架(41)設(shè)置在過濾盒(3)的頂部,所述安裝架(41)的頂部貫穿安裝有氣缸(42),所述氣缸(42)的活塞端與過濾盒(3)的頂部相連接,所述過濾盒(3)的頂部對稱焊接有導(dǎo)向桿(43),所述導(dǎo)向桿(43)的另一端貫穿并延伸至安裝架(41)的頂部,所述安裝架(41)的一側(cè)開設(shè)有兩個安裝孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機除塵裝置,其特征在于:所述自適應(yīng)調(diào)節(jié)機構(gòu)(11)包括固定筒(111),所述固定筒(111)的數(shù)量為四個,四個所述固定筒(111)均安裝在過濾盒(3)的底部,所述固定筒(111)的內(nèi)部滑動設(shè)置有移動塊(112),所述移動塊(112)的底部和固定架(1)之間安裝有連接柱(113),所述移動塊(112)的頂部和固定筒(111)之間通過彈簧固定片栓接有固定彈簧(114),所述移動塊(112)的頂部和固定筒(111)之間安裝有阻尼器(115)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機除塵裝置,其特征在于:所述固定架(1)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有與第一輥筒(2)平齊的第三輥筒(17)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機除塵裝置,其特征在于:所述固定架(1)的兩側(cè)均一體折彎成型有傾斜端(18),所述傾斜端(18)的另一側(cè)通過螺絲連接有刮料板(19)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機除塵裝置,其特征在于:所述過濾盒(3)的背面通過螺絲安裝有防塵網(wǎng)(21),所述防塵網(wǎng)(21)的直徑大于出風(fēng)口直徑。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種曝光機除塵裝置,涉及曝光機除塵技術(shù)領(lǐng)域,包括固定架和轉(zhuǎn)動連接在內(nèi)部的第一輥筒以及開設(shè)在頂部的通槽,所述固定架的頂部設(shè)置有過濾盒,所述過濾盒的頂部設(shè)置有頂升機構(gòu),所述固定架的內(nèi)部并位于第一輥筒的上方安裝有磁性傳感器,所述過濾盒的兩側(cè)均焊接有固定座,兩個所述固定座的正面分別轉(zhuǎn)動連接有收卷輥筒和放卷輥筒,所述收卷輥筒的一端固定套接有伺服電機,所述伺服電機的正面通過螺絲與固定座連接;能夠為裝置增加精細的除塵措施和對應(yīng)清理,提高了對灰塵和雜質(zhì)的除塵效果,實現(xiàn)除塵面的自動換新和刮落,保障了整體的張緊效果和穩(wěn)定性,適用于多種規(guī)格厚度的線路板進行加工,實用性高。

技術(shù)研發(fā)人員:林垂真,陳慧妮,柳寧寧,許新科
受保護的技術(shù)使用者:杭州卓芯科微電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/8/28
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