本發(fā)明涉及一種用于測(cè)定電氣元件的電特性的測(cè)試座。
背景技術(shù)：
1、在制造出半導(dǎo)體元件時(shí)，需要針對(duì)所制造的半導(dǎo)體元件進(jìn)行的性能檢測(cè)。在半導(dǎo)體元件的檢測(cè)中需要將檢測(cè)裝置的接觸墊與半導(dǎo)體元件的端子進(jìn)行電連接的測(cè)試座。
2、在測(cè)試座中，具有使導(dǎo)電粒子在硅橡膠的厚度方向上配置的接觸部與使相鄰的接觸部絕緣并對(duì)其進(jìn)行支撐的絕緣部的具有各向異性導(dǎo)電片的測(cè)試座可通過(guò)吸收機(jī)械性沖擊或變形從而實(shí)現(xiàn)柔連接，且具有制造費(fèi)用便宜的優(yōu)點(diǎn)。
3、圖1是示出現(xiàn)有技術(shù)的測(cè)試座的圖?，F(xiàn)有技術(shù)的測(cè)試座的各向異性導(dǎo)電片5包括：與半導(dǎo)體元件1的端子2接觸的接觸部6；及使相鄰的接觸部6絕緣并對(duì)其進(jìn)行支撐的絕緣部8。接觸部6的上端部與下端部分別與半導(dǎo)體元件1的端子2及半導(dǎo)體檢測(cè)裝置3的接觸墊4接觸，以將端子2與接觸墊4電連接。接觸部6作為在硅樹(shù)脂中混合大小較小的球形的導(dǎo)電粒子7并使其凝固的部件用作使電流流通的導(dǎo)體。
4、但是，由于此種現(xiàn)有的測(cè)試座的絕緣部8僅由絕緣材料形成，因此在傳遞高頻率信號(hào)時(shí)無(wú)法避免接觸部6間信號(hào)的干涉，從而存在高頻率信號(hào)傳輸特性下降的問(wèn)題。
5、[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
6、（專利文獻(xiàn)1）韓國(guó)公開(kāi)實(shí)用新型第2009-0006326號(hào)
7、（專利文獻(xiàn)2）韓國(guó)公開(kāi)專利第10-2017-0066981號(hào)
8、（專利文獻(xiàn)3）韓國(guó)注冊(cè)專利第10-0375117號(hào)
9、（專利文獻(xiàn)4）韓國(guó)注冊(cè)專利第10-2133675號(hào)
10、（專利文獻(xiàn)5）韓國(guó)注冊(cè)專利第10-2357723號(hào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、技術(shù)課題
2、本發(fā)明用于改善所述問(wèn)題點(diǎn)，目的在于提供一種將信號(hào)損失最小化并提高檢測(cè)速度及準(zhǔn)確度的新型結(jié)構(gòu)的信號(hào)損失防止用測(cè)試座。
3、技術(shù)方案
4、為達(dá)成所述目的，本發(fā)明提供一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，所述信號(hào)損失防止用測(cè)試座是配置于對(duì)置的端子之間并將端子電連接的測(cè)試座，包括：導(dǎo)電板，其具有第一面及與所述第一面并排的第二面，且形成有貫通所述第一面及所述第二面的至少一個(gè)第一貫通孔及至少一個(gè)第二貫通孔；第一絕緣膜，其附著于所述導(dǎo)電板的所述第一面以防止所述端子與所述導(dǎo)電板的所述第一面接觸，且在與所述第一貫通孔及所述第二貫通孔對(duì)應(yīng)的位置形成有第一開(kāi)口；第一接觸針，其以至少一部分與所述第一貫通孔的內(nèi)壁接觸的方式配置以與所述導(dǎo)電板電連接，且所述第一接觸針的兩端部與對(duì)置的接地端子接觸；第二接觸針，其與所述第二貫通孔的內(nèi)壁隔開(kāi)距離地配置以與所述導(dǎo)電板電分離，且所述第二接觸針的兩端部與對(duì)置的電源端子或信號(hào)端子接觸；以及絕緣支撐部，其支撐所述第二接觸針且使所述第二接觸針與所述導(dǎo)電板絕緣。
5、所述第一接觸針具有柱形態(tài)的第一彈性基質(zhì)及在所述第一彈性基質(zhì)的內(nèi)部沿所述第一彈性基質(zhì)的長(zhǎng)度方向排列的多個(gè)第一導(dǎo)電粒子。
6、所述第二接觸針具有柱形態(tài)的第二彈性基質(zhì)及在所述第二彈性基質(zhì)的內(nèi)部沿所述第二彈性基質(zhì)的長(zhǎng)度方向排列的多個(gè)第二導(dǎo)電粒子。
7、另外，本發(fā)明提供一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于所述第一接觸針的兩端部中的至少一個(gè)向所述導(dǎo)電板的外側(cè)突出。
8、另外，提供一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于所述第二接觸針的兩端部中的至少一個(gè)向所述導(dǎo)電板的外側(cè)突出。
9、另外，提供一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于所述第一接觸針包括：柱部，在所述柱部中所述第一導(dǎo)電粒子沿著所述第一接觸針的長(zhǎng)度方向排列且不與所述第一貫通孔的內(nèi)壁接觸；及至少一個(gè)延伸部，其以一端與所述柱部的外側(cè)面連接且另一端與所述第一貫通孔的內(nèi)壁接觸的方式排列所述第一導(dǎo)電粒子。
10、另外，提供一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于所述延伸部以越遠(yuǎn)離所述端子越遠(yuǎn)離所述第一貫通孔的內(nèi)壁的方式傾斜。
11、另外，提供一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于所述延伸部配置于所述第一接觸針的中心部處。
12、另外，提供一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于所述延伸部配置于所述第一接觸針的兩端部中的至少一個(gè)端部側(cè)。
13、另外，提供一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于所述導(dǎo)電板為非磁性。
14、另外，提供一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于所述導(dǎo)電板由銅或銅合金形成。
15、另外，提供一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于所述導(dǎo)電板包括層疊的多個(gè)子板。
16、另外，提供一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于所述絕緣支撐部、所述第一彈性基質(zhì)、所述第二彈性基質(zhì)由相同的材料形成。
17、另外，提供一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于所述絕緣支撐部、所述第一彈性基質(zhì)、所述第二彈性基質(zhì)包含硅系樹(shù)脂或聚四氟乙烯（polytetrafluoroethylene，ptfe）系樹(shù)脂。
18、另外，提供一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于還包括第二絕緣膜，該第二絕緣膜附著于所述導(dǎo)電板的所述第二面以防止所述端子與所述導(dǎo)電板的所述第二面接觸，且在與所述第一貫通孔及所述第二貫通孔對(duì)應(yīng)的位置處形成第二開(kāi)口。
19、發(fā)明的效果
20、根據(jù)本發(fā)明的信號(hào)損失防止用測(cè)試座實(shí)現(xiàn)信號(hào)損失最小化。因此，檢測(cè)速度與準(zhǔn)確度得到提高。
1.一種信號(hào)損失防止用測(cè)試座，所述測(cè)試座配置于對(duì)置的端子之間并將端子電連接，所述信號(hào)損失防止用測(cè)試座的特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于，
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于，
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于，
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于，
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于，
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于，
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于，
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于，
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于，
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于，
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)損失防止用測(cè)試座，其特征在于，